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2018
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Vol. 28
Issue (02)
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硅外延生产中SPC技术的研究成果
边娜
1
,边娜
2
,赵新明
3
,陈涛
2
1. 中国电子科技集团公司第四十六研究所
2. 中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220
3. 天津市计量监督检测科学研究院,天津,300192
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边娜
边娜
赵新明
陈涛
关键词
:
SPC、硅外延、质量改进
Abstract
:统计过程控制(SPC:Statistical Process Control )技术,是以数理统计为基础,通过生产数据统计分析,对生产过程是否处于统计受控状态做出定量结论。SPC控制图本身只是一种工具或手段,绘制控制图的目的在于管制制程在我们所期望的范围内,合乎经济原则来生产产品。本文通过在硅外延生产中采用科学的SPC监控案例,实现质量诊断、质量改进、质量评价的功能,最终达到了改善产品质量、提高生产效率和经济利润的目的。
收稿日期:
2017-08-29
出版日期:
2018-04-20
通讯作者:
边娜
E-mail:
bianna_2@126.com
引用本文:
边娜 边娜 赵新明 陈涛. 硅外延生产中SPC技术的研究成果[J]. , 2018, 28(02): 0-0.
链接本文:
http://www.gyjl.com.cn/CN/
或
http://www.gyjl.com.cn/CN/Y2018/V28/I02/0
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