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2020
,
Vol. 30
Issue (增刊1)
:
0-0
测量不确定度
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激光平面移相干涉仪示值误差测量结果不确定度评定
谯梁
中国测试技术研究院光学研究所
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摘要
激光平面移相干涉仪是以干涉测量技术为核心的光学计量仪器,它具有高精度、高灵敏度、快速高效、非接触无损伤等特点。本文对该仪器应用于平面镜平面度测量时,对影响测量结果的各个影响量进行详细而全面地分析,为实验室进行平面度量传提供依据。
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谯梁
关键词
:
激光平面移相干涉仪、测量不确定度、平面度量传
收稿日期:
2020-03-07
出版日期:
2020-11-09
通讯作者:
谯梁
E-mail:
2380716690@qq.com
引用本文:
谯梁. 激光平面移相干涉仪示值误差测量结果不确定度评定[J]. , 2020, 30(增刊1): 0-0.
链接本文:
http://www.gyjl.com.cn/CN/
或
http://www.gyjl.com.cn/CN/Y2020/V30/I增刊1/0
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