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Abstract 统计过程控制(SPC:Statistical Process Control )技术,是以数理统计为基础,通过生产数据统计分析,对生产过程是否处于统计受控状态做出定量结论。SPC控制图本身只是一种工具或手段,绘制控制图的目的在于管制制程在我们所期望的范围内,合乎经济原则来生产产品。本文通过在硅外延生产中采用科学的SPC监控案例,实现质量诊断、质量改进、质量评价的功能,最终达到了改善产品质量、提高生产效率和经济利润的目的。
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Received: 29 August 2017
Published: 20 April 2018
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