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功率半导体器件静态参数标准装置研建综述 |
徐迎春 |
中国电子技术标准化研究院 |
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摘要 功率半导体器件以耐压高、电流大、速度快等显著特点,在伺服控制器、交流电机控制及逆变电路等领域应用广泛,是我国“十三五”及“十四五”期间的重点发展对象。功率半导体器件参数测试设备是采用脉冲测试法利用内部各类专业源表测量其静态参数的测试设备,目前最高脉冲方波电压达3kV~15kV、脉冲方波电流可达5kA~10kA。为解决功率半导体器件校准件静态参数整体溯源问题,本文采用模块化设计方案,研制了一套功率半导体器件静态参数标准装置,计量对象覆盖功率IGBT模块、功率MOSFET器件、快速恢复二极管、宽禁带半导体功率器件等四类器件,计量参数类型覆盖静态参数。
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关键词 :
功率半导体器件,
源表,
校验件,
整体溯源,
静态参数
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收稿日期: 2022-06-24
出版日期: 2023-07-24
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通讯作者:
徐迎春
E-mail: 504001017@qq.com
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