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MEMS氢气传感器气体冲击试验研究 |
王瑞,史苏娟,耿彦红,董亮华,徐春 |
苏州市计量测试院 |
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摘要 气体传感器主要应用于可燃气体、有毒有害气体的检测,随着传感器制造工艺的发展以及气敏材料的优化,传感器的特点趋向于低功耗、高灵敏度和小尺寸方向。对传感器性能检测也逐渐提高了要求,本文主要采用动态配气与电磁阀结合,基于GB/T 34004-2017《家用和小型餐饮厨房用燃气报警器及传感器》标准和美国汽车工程师协会的SAE-J3089《氢燃料电池汽车信息技术报告-车载氢传感器特性》标准中的气体冲击试验,搭建了气体冲击试验装置,研究气体冲击试验对MEMS氢气传感器可靠性能(寿命)的影响。
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关键词 :
氢气传感器,
气体冲击,
可靠性
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收稿日期: 2021-08-31
出版日期: 2022-03-22
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通讯作者:
王瑞
E-mail: wangruiyq@szjl.com.cn
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